ESDEMC Technology LLC 由 Wei Huang 于 2011 年 3 月在美國密蘇里州羅拉創立。ESDEMC 開發 ESD 和 EMC 解決方案。公司致力于提供創新、先進、高質量和具有成本效益的解決方案以及一般咨詢、測試服務和定制項目。產品包括充電設備模型 (CDM) 系統、電纜放電事件 (CDE) 系統、ESD 模擬器、脈沖衰減器、電流探頭、用于射頻發射/免疫的 TEM 電池、高壓直流電源、定制的高壓/射頻設計。ESDEMC Technology 自 2012 年以來一直是 ESD 協會的企業會員。

ES660 ESD靜電放電和閂鎖測試系統是一款先進的多針自動測試設備。針對現代半導體測試的嚴苛要求而設計。產品的測試能力保障大規模器件的高效評估，顯著縮短測試時間并提升生產效率。

專為滿足現代半導體測試的嚴苛要求而設計。該多功能設備可全面支持人體放電模型（HBM）、機器模型（MM）、閂鎖（LU）及瞬態閂鎖（TLU）測試，為集成電路（IC）和電子元件的可靠性評估提供完整解決方案。相比ES612A+RE64繼電器擴展模塊/ES660-P1-EM1 ATE擴展模塊的舊方案，ES660具備更高規格配置。ES660-P1基礎配置支持128至1024/1280引腳及10條總線，是多接口集成電路與電子元件測試的理想硬件平臺。針對更高引腳數測試需求，ES660-P1可升級至ES660-P2配置。該配置采用高密度主機母板，支持高達2560引腳和12條總線。最新ES660主機與繼電器卡的高壓直流總線額定電壓達800+V以上，標準電壓總線為100V直流，ESD與漏電通路的耐壓等級達1200+V直流。該設計使系統具備高壓直流與閂鎖測試能力（例如支持高達±300V的LU偏壓和應力）。高度模塊化設計確保設備可持續升級，以支持未來更高引腳數與更先進的測試需求。ES660的測試能力保障大規模器件的高效評估，顯著縮短測試時間并提升生產效率。

產品特性

● 系統配置高度靈活，支持從128引腳擴展至2560引腳，總線數量可配置1至12條

● 具備高規格測試能力，包括10kV HBM、4kV MM、300V/1A直流及閂鎖應力、1100V SMU漏電流測試

● 基于低寄生繼電器的HBM測試儀(符合JS-001 2017附錄B4、2023/2024附錄C5 N=9標準)

● ESD測試速度快（可選10/15引腳每秒，正在開發20+引腳每秒）

● 兼容多種ESD/閂鎖/瞬態閂鎖測試方法與標準

● 可通過軟件捕獲并顯示閂鎖源的電壓電流波形（支持帶/不帶示波器多種配置）

● 配合外部電壓電流探頭，可通過軟件捕獲ESD IV特性曲線

● 可選配溫控強制模塊（可選室溫至200°C或-15至200°C范圍）

● 可選配多協議預處理模塊，實現閂鎖測試中的交互行為

● 14英寸觸摸屏實時顯示測試進度與狀態

● 支持瞬態閂鎖測試配置（可搭配TLP/EOS/浪涌等測試方法）

產品應用

● 半導體ESD/EOS/LU測試

● HBM測試配置符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883E、AECQ100-002、AEC-Q-101-001、AEC-Q100-002及GJB548C標準

● MM測試配置符合ANSI/ESDA SP5.2、JEDEC/JESD22-A115標準

● 閂鎖（LU）測試：符合 JEDEC JESD78、AEC-Q100-004 標準，支持Overvoltage-Test、I-Test

● 瞬態閂鎖（TLU）測量配置符合ANSI/ESD SP5.4.1 標準

ES660 ESD靜電放電和閂鎖測試系統技術規格

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